LSP500皮拉尼標準真空計

皮拉尼標準真空計 LSP500 是 LINXON 品牌下最新的真空計產品,LSP500 基于熱傳導(熱損失)這一經過驗證的物理原理工作，這也是幾

十年來廣泛使用的真空測量原理。LINXON LSP500 非常適合所有需要在 5 x 104 至 1000 毫巴范圍內進行可靠測量的真空應用。

LSP500 憑借精心設計的傳感器技術、不銹鋼法蘭、可靠的電子單元以及引人注目的緊湊型鋁制外殼，其適用于眾多真空應用。如果在長時間工作

后需要更換傳感器單元，該傳感器單元可以在現(xiàn)場輕松更換。這突顯了新款 LSP500 的用戶友好性和成本效益。

技術參數(shù)

• 測量范圍：通常為至 1000 毫巴，可滿足多種真空環(huán)境下的測量需求145。

• 精度：在至 100 毫巴范圍內，精度為讀數(shù)；在至毫巴和 100 至 1000 毫巴范圍內，精度為讀數(shù)46。

• 分辨率：一般可達到讀數(shù)6。

• 重復性：在至 100 毫巴范圍內，重復性為讀數(shù)46。

• 輸出信號：電壓范圍為 0 至 + 10.3V，測量范圍為 + 1.9 至 + 10V，電壓與壓強的關系為對數(shù)46。

特點

• 結構緊湊：采用緊湊的鋁制外殼設計，體積小巧，便于安裝和使用，可在空間有限的設備或系統(tǒng)中靈活安裝34。

• 傳感器技術先進：精心設計的傳感器技術，能夠提供準確可靠的測量結果，且傳感器單元可作為備件提供，便于現(xiàn)場更換，減少設備停機時間。

• 兼容性好：兼容 EMC 并通過 CE 認證，可與多種設備和系統(tǒng)兼容，確保在不同的工作環(huán)境中穩(wěn)定運行。

使用方法

• 安裝：根據(jù)實際需求選擇合適的安裝位置和連接方式，確保真空計與被測系統(tǒng)之間的連接緊密、無泄漏。常見的連接方式有 DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、1/8" NPT 等46。

• 校準：在使用前需要進行校準，確保測量結果的準確性。校準方法通常是將真空計與已知標準真空度的設備進行對比，調整真空計的參數(shù)使其測量結果與標準值一致。

• 測量：連接好電源和被測系統(tǒng)后，打開真空計電源開關，等待設備穩(wěn)定后即可進行測量。在測量過程中，可根據(jù)需要設置測量范圍、分辨率等參數(shù)。

• 數(shù)據(jù)記錄與分析：測量完成后，可將測量數(shù)據(jù)記錄下來，以便進行后續(xù)的分析和處理。一些先進的 LSP500 皮拉尼標準真空計還可以與計算機或其他數(shù)據(jù)采集設備連接，實現(xiàn)自動數(shù)據(jù)采集和分析。

應用場景

• 半導體制造：在半導體芯片制造過程中，需要對真空鍍膜、刻蝕等工藝中的真空度進行精確測量和控制，LSP500 皮拉尼標準真空計可滿足這一需求。

• 真空鍍膜：在光學薄膜、電子薄膜等真空鍍膜過程中，準確控制真空度對于薄膜的質量和性能至關重要，該真空計可實時監(jiān)測真空度，確保鍍膜工藝的穩(wěn)定性和重復性。

• 科研實驗：在物理、化學、材料等領域的科研實驗中，常常需要對真空環(huán)境進行精確控制和測量，LSP500 皮拉尼標準真空計可作為一種可靠的真空測量工具，為實驗提供準確的數(shù)據(jù)支持。

維護與保養(yǎng)

• 定期清潔：使用干凈的軟布或棉球蘸取適量的無水乙醇，輕輕擦拭真空計的外殼和傳感器表面，去除灰塵、油污等雜質。

• 檢查連接部位：定期檢查真空計與被測系統(tǒng)之間的連接部位，確保連接牢固、無泄漏。如發(fā)現(xiàn)連接部位松動或有泄漏現(xiàn)象，應及時擰緊或更換密封件。

• 校準維護：按照規(guī)定的周期對真空計進行校準，一般建議每 6 個月至 1 年校準一次。如發(fā)現(xiàn)測量結果偏差較大或不穩(wěn)定，應及時進行校準或維修。

• 避免過載和沖擊：在使用過程中，應避免真空計受到過載壓力和沖擊，以免損壞傳感器和內部電路。如被測系統(tǒng)的壓力突然變化較大，應及時采取措施保護真空計。